103A

Производство серии 103A было запущено в 2015 году на заводе VICKERS в Бирмингеме. Основу каждого модуля составляет кремниевый кристалл, выращенный по методу Чохральского, с допустимым содержанием кислорода не более 14 ppm. После нарезки пластин толщиной 0.25 мм, каждая заготовка проходит плазменную обработку для удаления поверхностных загрязнений и подготовки к процессу диффузии бора при температуре 1150°C. После диффузии, каждая пластина покрывается слоем нитрида кремния толщиной 75 нм методом PECVD. Данный слой служит антиотражающим покрытием и защищает поверхность от влаги и механических повреждений. Затем, лазерной абляцией формируются контакты с шагом 2.54 мм, после чего наносится слой алюминиевой пасты толщиной 12 мкм методом трафаретной печати. Процесс спекания алюминиевой пасты происходит в конвейерной печи при температуре 850°C в течение 12 минут. Это обеспечивает омический контакт с удельным сопротивлением не более 10^-6 Ом*см?. Затем следует контроль геометрических размеров с точностью ±0.02 мм и электрических параметров, включая прямое напряжение при токе 100 мА. Собранные модули устанавливаются в герметичные корпуса из алюминиевого сплава ADC12, отлитые под давлением на заводе VICKERS в Инсбруке. Корпус обеспечивает степень защиты IP67 и выдерживает кратковременное погружение в воду на глубину 1 метр. Теплоотвод от кристалла к корпусу осуществляется через слой термопасты с теплопроводностью 3.8 Вт/м*К. Финальная стадия – 100% тестирование готовых изделий в термокамере при температурах от -25°C до +70°C. Проверяется стабильность выходных параметров, включая напряжение смещения и температурный коэффициент. Каждому модулю присваивается индивидуальный серийный номер, заносимый в базу данных для отслеживания истории производства.